01
底电极制备VR实训子系统
聚焦集成电路核心工艺，覆盖晶圆清洗、光刻、磁控溅射沉积Au等全流程操作，精准还原真实产线设备与工艺细节。通过高仿真VR交互，规避化学试剂与精密仪器操作风险，强化学生规范操作与工艺优化能力。
02
压电层制备VR实训子系统
精准覆盖匀胶、光刻、湿法刻蚀等核心工艺，高度还原产线级设备操作与工艺参数。通过沉浸式VR交互，规避强腐蚀试剂与高精度设备风险，强化学生工艺规范与缺陷分析能力。
03
顶电极制备VR实训子系统
聚焦氧化锌磁控溅射、光刻、湿法刻蚀等核心工艺，精准复刻半导体产线级设备操作与参数控制。通过高仿真VR交互，规避高温、化学腐蚀等风险，强化学生工艺规范与缺陷诊断能力。
04
MA-6接触式光刻机VR虚拟实训系统
支持手势交互实现晶圆装载、光刻板真空吸附、双标记精准对准等核心工艺。内置半导体行业标准（如铬面朝向、镊子操作规范），支持无限次重复训练，解决设备采购成本高、超净环境维护难等痛点，助力集成电路、微电子专业培养符合半导体产业需求的标准化技术人才。
集成电路芯片加工制作工艺VR实训体系
本系统面向应用化工、材料工程及新能源相关专业，以动力电池“原材料-电极-电芯-测试-回收”全产业链为核心，通过高精度建模与VR技术，真实还原先进企业生产工艺流程。系统重点培养工艺生产管理能力，涵盖现场操作、中控调控、分析检测三大岗位技能，助力学生无缝衔接行业需求。
实训资源覆盖电极材料制备、电芯组装、设备认知、电化学测试、回收工艺等环节，并提供“电池生产全流程”虚拟仿真（含VR），突破传统实训的时空限制。课程体系以企业认知、实习操作为主线，结合虚实融合教学模式，强化学生实践技能与创新能力，提升课程成绩与学习满意度。
通过沉浸式交互与真实场景模拟，系统助力职业院校构建产教融合的实践教学体系，为学生奠定动力电池行业的核心竞争力，赋能新能源领域高素质人才培养。